200KeV离子注入机离子光学系统的研制

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学术活动 | 更新时间：2021-04-02

- 200KeV离子注入机离子光学系统的研制
- DESIGN AND MANUFACTURE OF THE BEAM OPTICS SYSTEM OF A 200keV ION IMPLANTER
- 武汉大学学报（理学版） 1984年第4期页码：35-40
- 作者机构：
- 作者简介：
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- DOI：中图分类号：
- 纸质出版日期：1984-4-1，
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[1]潘显政,范湘军,徐在贵,程世昌,李金钗,彭友贵,郭怀喜.200KeV离子注入机离子光学系统的研制[J].武汉大学学报(自然科学版),1984(04):35-40+56.

Pan Xianzheng Fan Xiangjun Xu Zaigui cheng Shichang Li Jinchai Pen Yougui and Guo Huaixi. DESIGN AND MANUFACTURE OF THE BEAM OPTICS SYSTEM OF A 200keV ION IMPLANTER[J]. 1984, (4):35-40.
[1]潘显政,范湘军,徐在贵,程世昌,李金钗,彭友贵,郭怀喜.200KeV离子注入机离子光学系统的研制[J].武汉大学学报(自然科学版),1984(04):35-40+56. DOI：

Pan Xianzheng Fan Xiangjun Xu Zaigui cheng Shichang Li Jinchai Pen Yougui and Guo Huaixi. DESIGN AND MANUFACTURE OF THE BEAM OPTICS SYSTEM OF A 200keV ION IMPLANTER[J]. 1984, (4):35-40. DOI：

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