磷扩前通氮退火对单双结特性的影响

磷扩前通氮退火对单双结特性的影响 磷扩前通氮退火对单双结特性的影响 熊周华 1 first-author 武汉大学半导体专业70级 学员 武汉大学半导体专业70级 学员 < 正 > 江苏常州半导体厂在生产高频大功率管（3DA501耗散为50W、f T ≥10MC;3DA53为5W、f T ≥100MC）时,从实践中得到通氮退火对提高击穿电压和成品率有好处.我们在该厂进行毕业实践中,针对此问题,在工人师傅和教师指导下,作了一些实验,试图探讨通氮退火对单、双结击穿特性影响的机理和找出较佳的退火条件。实验中通过对比的方法初步找出了一些通氮退火前后单结特性的变化规律,分析了消除（或削弱）表面沟道漏电流的可能机理。着重做了通氮退火对双结特性影响的实验,根据结 < 正 > 江苏常州半导体厂在生产高频大功率管（3DA501耗散为50W、f T ≥10MC;3DA53为5W、f T ≥100MC）时,从实践中得到通氮退火对提高击穿电压和成品率有好处.我们在该厂进行毕业实践中,针对此问题,在工人师傅和教师指导下,作了一些实验,试图探讨通氮退火对单、双结击穿特性影响的机理和找出较佳的退火条件。实验中通过对比的方法初步找出了一些通氮退火前后单结特性的变化规律,分析了消除（或削弱）表面沟道漏电流的可能机理。着重做了通氮退火对双结特性影响的实验,根据结 1973-02-01 2021-04-01 2