利用离子薄化法制备薄膜

利用离子薄化法制备薄膜 SPECIMEN PREPARATION BY ION BEAM THINNER AND TEM OBSERVATION OF QUASICRYSTALLINE ICOSAHEDRAL PHASE 钟桂荣 Zhong Guirong first-author < 正 > 用作透射电子显微镜观察的试样要求厚度在2000埃以下。对于生物样品采用超薄切片的方法。对于金属材料,通常采用双喷电解抛光减薄的方法作为透射电镜薄膜试样制备的最后阶段。但对于矿物、陶瓷、玻璃、碳化硅等绝缘材料则不能采用电化学方法。含有微裂纹和孔洞的金属材料及某些多相合金,也难以用电化学方法得到满意的薄膜,在这种情况下可以采用离子薄化的方法。在我们实验室中应用LBS—1型离子薄化器制备这类薄膜样品。离子薄化法是让薄片状样品处于约为10 -4 mbar或更高一点的高真空环境中,由冷阴极枪提供高能离子流,例如氩离子流,对样品的表面以某一入射角作连续轰击,样品表层原子 < 正 > 用作透射电子显微镜观察的试样要求厚度在2000埃以下。对于生物样品采用超薄切片的方法。对于金属材料,通常采用双喷电解抛光减薄的方法作为透射电镜薄膜试样制备的最后阶段。但对于矿物、陶瓷、玻璃、碳化硅等绝缘材料则不能采用电化学方法。含有微裂纹和孔洞的金属材料及某些多相合金,也难以用电化学方法得到满意的薄膜,在这种情况下可以采用离子薄化的方法。在我们实验室中应用LBS—1型离子薄化器制备这类薄膜样品。离子薄化法是让薄片状样品处于约为10 -4 mbar或更高一点的高真空环境中,由冷阴极枪提供高能离子流,例如氩离子流,对样品的表面以某一入射角作连续轰击,样品表层原子 1987-02-01 2021-04-01 2