离子束混合Al-Mn非晶薄膜电性的原位测量

离子束混合Al-Mn非晶薄膜电性的原位测量 IN SITU MEASUREMENTS OF ELECTRICAL RESISTIVITY OF AMORPHOUS Al-Mn FILMS DURING ION BEAN MIXING 郭怀喜 Gou Huaixi Fan Xiangjun Wang Shuqi Yu Quanhua Tian Chengming Ye Mingshen 1 2 3 first-author 范湘军 1 2 3 王叔琪 1 2 3 余全华 1 2 3 田承明 1 2 3 叶明生 1 2 3 武汉大学物理系 武汉大学物理系 Department of Physics, Wuhan University Department of Physics, Wuhan University 武汉大学物理系 中国人民解放军海军工程学院 武汉大学物理系 中国人民解放军海军工程学院 湖南原子能农业应用研究所 湖南原子能农业应用研究所 在200keV离子注入机的变温靶上交叠蒸镀多层Al-Mn薄膜,用Ar + 离子束在室温下轰击使其非晶化,原位测量薄膜样品的电阻率随离子剂量以及温度的变化关系,电阻温度系数TCR及TEM观测结果证实了非晶相的存在。 Alternating A1-Mn layers are deposited on the substrates which are placed on a variable temperature target of 200 keV implanter. The multilayered films are amorphized by a room temperature Ar + beam irradiation, The electrical resistivity of the samples and their relations with ion beam doses and temperature are measured in-situ. The temperature coefficient of resistivity （TCR） and TEM observation indicate presence of the amorphous phase. 离子束混合 非晶薄膜 原位测量 ion beam mixing amorphous film "in situ" measurement 国家自然科学基金(61672102) 1989-02-01 2021-04-01 2