三氧化钼薄膜的制备和结构研究

三氧化钼薄膜的制备和结构研究 Preparation and Structure Study Molybdenum Oxide Thin Films by Sol-Gel Process 孙杰兵 1 2 3 first-author 熊锐 1 2 3 王世敏 1 2 3 汤五丰 1 2 3 石兢 1 2 3 田德诚 1 2 3 武汉大学物理科学与技术学院,湖北,武汉,430072 武汉大学物理科学与技术学院,湖北,武汉,430072 湖北大学化学与材料学院 湖北大学化学与材料学院 ,湖北,武汉,430062 ,湖北,武汉,430062 采用溶胶 凝胶法成功制备了三氧化钼 （MoO3）薄膜 .首先 ,以CH3COCH2 COCH3,MoO3,C6 H5CH3和HOCH2 CH2 OCH3为原料合成三氧化钼溶胶和凝胶 .凝胶的热重和差热分析 （TG DTA）显示三氧化钼的晶化出现在5 0 8℃附近的 14 0℃范围内 .其次 ,利用旋转涂布法在硅 （111）基片上通过 4 5 0℃退火处理制备了三氧化钼薄膜 .XRD和FTIR谱表明薄膜为α MoO3相 .SEM形貌像显示薄膜中晶粒分布均匀致密 ,在基片表面无择优取向 ;晶粒尺度范围在 0 .5～ 1μm之间 . A sol\|gel process was presented to prepare molybdenum oxide thin films. Molybdenum acetylacetonate sol\|gel was made by employing the system CH 3 COCH 2 COCH 3 /MoO 3 /C 6 H 5 CH 3 /HOCH 2 CH 2 OCH 3 . Thermal gravimetry and differential thermal analyses （TG\|DTA） on gel suggest that MoO 3 crystallize around 508 ℃ covering a range of 140 ℃. MoO 3 films were prepared on Si（111） substrates by spin coated method in oxygen environment at 450 ℃. X\|ray diffraction （XRD） and FTIR spectra for as\|prepared film confirm that MoO 3 films are α\|MoO 3 phase. SEM investigations show that random\|oriented and densely packed MoO 3 grains films have been obtained and the longitudinal dimension of crystallites is between 0.5 to 1 μm. 溶胶凝胶 三氧化钼 薄膜 O484.1 国家自然科学基金资助课题 （5 9872 0 2 3 ） 2002-05-01 2021-04-01 5